广州海珠二手净化车间回收之无尘车间要求较高的污染控制
这一阶段可界定为第一阶段之后、吹扫之前的作业过程,工作内容如壁板及吊顶板安装、各专业管线穿壁板安装、灯具安装等,以及采用局部擦洗、真空吸尘等方法进行全面彻底的清扫工作。
管理规定:
(1)凡进入该区域的人员,必须经过该阶段管理规定的培训,并佩带相应的准入证入室;
(2)进入该区域的人员,应穿着干净的工作服、鞋具,后期应穿着洁净服、洁净鞋(或普通干净的鞋共应会穿洁净鞋套):
(3)带入的材料应是洁净的,工具、机具要清洗干净后才能带入室内;
(4)所有产尘作业须严加控制,发生碎屑、尘埃,应立即用吸尘器清除;
(5)无尘车间内不得吸烟、饮食和饮水;
(6)无尘车间内每天由专职人员至少清扫一次;
(7)室内防止堆积过多材料;
(8)除必须的人流、物流门洞外,其他门洞应予以封堵;
(9)室内严禁大小便。
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广州海珠二手净化车间回收之无尘车间如何装修
1、无尘车间设计装修门窗要求 无尘车间的厂房门窗与墙面必须平整,不需要设计窗台。车间的门一定要密封性强,这样才能防止室内外的温差而产生结露。门窗的材质要选择不易变形、误差小、气密性好的。此外,车间的门窗造型应该尽量简单,这样便于打扫卫生。门窗不适合使用木质的,时间久了,容易受潮滋生细菌。
2、无尘车间设计装修地面要求 无尘车间设计装修应该使用不易产生静电、耐磨耐腐蚀的无缝隙整体地面。大多数无尘车间都是使用环氧自流坪地面,这是树脂类复合材料的地面。它不仅可以达到镜面装饰的效果,还具有无毒无味、无溶剂、无缝无接、耐磨等特点。
3、无尘车间设计装修墙面要求 无尘车间的墙面应该色彩简单、平整光滑、耐腐蚀,内墙的油漆或涂料应该使用防静电、防潮、防霉,易于清洗的。此外,墙面跟地面的交界处需要做半径为五十毫米的圆弧,以此来减少灰尘的聚集。走廊中应该安装防撞栏杆,防止运输材料的过程中震动而使灰尘飘落。
4、无尘车间送风管、灯具必须布置在技术夹层里 无尘车间送风管、灯具必须布置在技术夹层里,这样才能保证车间内的清洁。很多无尘车间都是用彩钢夹心板密封吊顶,因为彩钢夹心板有重量轻、保温隔热、整体强度大等优点。
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广州海珠二手净化车间回收之芯片行业对无尘车间的环境与生产要求
1、内部要保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
2、为保持温度与湿度的恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久,冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主,尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、人事物进出,都须经过空气吹浴 (air shower) 的程序,将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触 (在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。
7、除了空气外,水的使用也只能限用去离子水 (DI water, de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel),影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistively) 来定义好坏,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量惊人!
8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮!
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